设备名称：

AI/Cu pad 化镀镍钯金设备

适应工件：

4～12寸晶圆化镀镍钯金

批量产能：

4～8寸25PCS/批

Cu pad
工艺流程：

Cleaning →QDR →Etching →QDR →Pre-dip →Activator →Post-dip →QDR→  Eless Ni → QDR → Eless Pd →QDR → Immersion Gold → QDR

AI pad
工艺流程：

Cleaning →QDR →Etching →QDR →1st Zincate →QDR → Zincate  Removing →QDR →2nd Zincate →QDR  →Eless Ni → QDR → Eless Pd →QDR → Immersion Gold → QDR

主要材料：

金属骨架+PVC/PPW壳板，槽体采用石英/PPN材质

运送方式：

手动传送

节拍时间：

依工艺厚度确认时间，常规20min/批

其他说明：

此设备可根据客户要求定制全自动