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设备名称:全自动SPM清洗机
适应工件:2~8寸晶圆片清洗
批量产能:8寸25PCS/批
工艺流程:SPM→QDR(40-60℃)→QDR
工艺槽功能:循环过滤+加热冷却
主要材料:金属骨架+PVC/PPW壳板,槽体采用PPN/PVDF材质
运送方式:机械手自动前后传送
节拍时间:依工艺5~15min可调
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