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全自动RCA清洗机

全自动酸清洗机

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全自动硅环清洗机（水平）

全自动硅环碱腐蚀清洗机（垂直）

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半导体行业清洗机

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半导体行业清洗槽

返工片清洗机

石墨舟清洗机

石英管清洗机

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电镀夹具

电镀设备

非标夹具

设备名称：全自动RCA清洗机

适应工件：2～12寸晶圆片清洗

批量产能：8～12寸13/25pcs/批

工艺流程： LOAD → SPM →QDR →SC1 →QDR →SC2 →QDR →DHF →QDR→DRYING →UNLOAD  

主要材料：金属骨架+PVC/PPW壳板，槽体采用石英/PPN/PTFE材质  

运送方式：机械臂传送

节拍时间：依工艺5～10min可调

工艺效果：颗粒去除率达≥99%

其他说明：此设备可根据客户要求定制手动/半自动