设备名称：

半自动金属刻蚀机 

适应工件：

2～8寸晶圆片清洗

批量产能：

8寸25PCS/批

工艺流程：

Cu蚀铜→QDR→QDR←QDR←Ti刻蚀

工艺槽功能：

循环过滤+加热冷却+上下抖动+花篮提升

主要材料：

金属骨架+PVC/PPW壳板，槽体采用PPN/PVDF材质

运送方式：

手动传送

节拍时间：

依工艺5～15min可调

其他说明：

此设备可根据客户要求定制全自动刻蚀机