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全自动有机去胶清洗机
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全自动有机去胶清洗机
日期:2022-01-20  人气:

                                              


                                 

适应工件:

8-12寸晶圆片去胶清洗

批量产能:

81213/25pcs/

工艺流程:

FOUP →EFM →去胶→IPA →QDR  →QDR →DRYING→ EFM→FOUP

主要材料:

SUS骨架+SUS壳板,槽体采用SUS316L石英/PVDF/PTFE材质

运送方式:

机械臂传送

节拍时间:

依工艺510min可调

工艺效果:

去胶效率≥99%

其他说明:

此设备可根据客户要求定制手动/半自动



     
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