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全自动RCA清洗机
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半导体行业
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全自动RCA清洗机

设备名称:全自动RCA清洗机

适应工件:2~12寸晶圆片清洗

批量产能:2~6寸25/50PCS/批,8~12寸13/25pcs/批

工艺流程: LOAD → SPM →QDR →SC1 →QDR →SC2 →QDR →DHF →QDR→DRYING →UNLOAD  

主要材料:金属骨架+PVC/PPW壳板,槽体采用石英/PPN/PTFE材质  

运送方式:机械臂传送

节拍时间:依工艺5~10min可调

工艺效果:颗粒去除率达≥99%

其他说明:此设备可根据客户要求定制手动/半自动


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